这些设备可以配置专用软件选项,用于特定类型的分析。 结合应用模块(应用配置、校准和标准液)或作为样品制备装置包,可以创建完整的分析解决方案。 所有的 Malvern Panalytical 产品均由我们的售后服务和客户服务机构提供支持。

在我们的知识中心,您可以找到有关我们的设备可以提供的许多有趣的 XRF 应用程序的更多信息。

Zetium 系列X射线荧光光谱仪

Epsilon 1

Epsilon 4

Epsilon Xflow

2830 ZT 圆晶分析仪

Axios FAST 多道同时式波长色散型X射线荧光光谱仪

Zetium 系列X射线荧光光谱仪 Epsilon 1 Epsilon 4 Epsilon Xflow 2830 ZT 圆晶分析仪 Axios FAST 多道同时式波长色散型X射线荧光光谱仪

卓越的元素分析

占地面积小,功能强大

快速、准确的原位元素分析

直接洞悉您的生产过程

先进的半导体薄膜计量解决方案

极高的样品处理量

更多细节 更多细节 更多细节 更多细节 更多细节 更多细节
测量类型
薄膜测量
Elemental analysis
Contaminant detection and analysis
Elemental quantification
化学鉴定
技术类型
Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)
Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)
元素范围 Be-U Na-Am C-Am Na-Am Be-U Be-U
LLD 0.1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100%
分辨率 (Mg-Ka) 35eV 135eV 135eV 135eV 35eV 35eV
样品处理量 160per 8h day - 240per 8h day 40per 8h day - 80per 8h day 80per 8h day - 160per 8h day on-line up to 25 wafers per hour 240per 8h day - 480per 8h day