在许多应用中,了解元素浓度是控制材料性质或确保遵守健康和安全法规的关键因素。 因此,仅探测到元素的存在通常是不够的,还必须量化元素的浓度。 所需的准确度取决于应用。

X 射线荧光脉冲快热中子活化分析是非破坏性的、稳定的、易于使用的分析技术,用于测定各种材料在各种应用中的元素组成。 为了量化这些技术中的元素浓度,将测量的强度与来自认证参考材料或已知浓度的内部标准液的强度进行比较。 这些标准液应尽可能接近样品材料,以获得准确的结果。 测量的强度也受到样品的物理性质的影响,因此通常需要应用由用户软件处理的各种校正。

在许多行业中,无需专用标准液就能快速筛选未知成分的样品材料。 在这种情况下,诸如 Omnian 的无标样分析软件可用于测定总体元素组成并提供元素浓度的半定量值。

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卓越的元素分析

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测量类型
薄膜测量
Contaminant detection and analysis
化学鉴定
技术类型
Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)
Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)
脉冲快热中子活化分析
元素范围 Be-U Na-Am, C-Am Be-U Be-U
LLD 0.1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100%
分辨率 (Mg-Ka) 35eV 145eV 35eV 35eV
样品处理量 160per 8h day - 240per 8h day 240per 8h day - 480per 8h day up to 25 wafers per hour