元素量化

使用 XRF 和 PFTNA 量化元素浓度

在许多应用中,了解元素浓度是控制材料性质或确保遵守健康和安全法规的关键因素。 因此,仅探测到元素的存在通常是不够的,还必须量化元素的浓度。 

所需的准确度取决于应用。

量化技术

X 射线荧光 和 脉冲快热中子活化分析 是非破坏性的、稳定的、易于使用的分析技术,用于测定各种材料在各种应用中的元素组成。 为了量化这些技术中的元素浓度,将测量的强度与来自认证参考材料或已知浓度的内部标准液的强度进行比较。 这些标准液应尽可能接近样品材料,以获得准确的结果。 测量的强度也受到样品的物理性质的影响,因此通常需要应用由用户软件处理的各种校正。

无标准软件

在许多行业中,无需专用标准液就能快速筛选未知成分的样品材料。 

在这种情况下,诸如 Omnian 的无标样分析软件可用于测定总体元素组成并提供元素浓度的半定量值。

Zetium 系列X射线荧光光谱仪

Zetium 系列X射线荧光光谱仪

元素分析

Epsilon 系列

Epsilon 系列

快速、准确的原位和在线元素分析

Axios FAST 多道同时式波长色散型X射线荧光光谱仪

Axios FAST 多道同时式波长色散型X射线荧光光谱仪

高样品处理量

2830 ZT 晶圆分析仪

2830 ZT 晶圆分析仪

半导体薄膜计量解决方案

CNA 系列

CNA 系列

有效控制多种工业流程的中子活化在线物料分析系统

测量类型
薄膜测量
污染物检测与分析
化学鉴定
技术类型
波长色散式 X 射线荧光 (WDXRF)
能量色散式 X 射线荧光 (EDXRF)
脉冲快热中子活化分析
元素范围 Be-Am F-Am B-Am B-Am
LLD 0.1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100%
分辨率 (Mg-Ka) 35eV 145eV 35eV 35eV
通量 160每8小时(一个工作日) - 240每8小时(一个工作日) Up to - 160每8小时(一个工作日) 240每8小时(一个工作日) - 480每8小时(一个工作日) up to 25 wafers per hour