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X'Pert³ MRD XL

马尔文帕纳科新一代 X'Pert³ MRD XL 高分辨X射线衍射仪其可靠性的增强及性能的改进提高了分析能力,提供一体化解决方案来满足不同需求和应用:

• 半导体和单晶晶圆:倒易空间探索、摇摆曲线分析

• 多晶固体和薄膜:织构分析、反射测量

• 超薄薄膜、纳米材料和非晶层:掠入射物相鉴定、面内衍射

• 非常温条件下的测量:随温度和时间变化的峰高

 

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探测器

PIXcel3D

The first detector to bring 0D-1D-2D and 3D data to your diffractometer

The PIXcel3D is a unique 2D solid-state hybrid pixel detector. Each pixel is 55 microns x 55 microns and the detector array is 256 x 256 pixels. The detector, now based on Medipix3 technology, brings unrivalled signal to noise with its point spread function of one pixel and multiple energy discrimination levels.

支持合同的选项

凭借在 XRD 分析法领域数十年的丰富经验,马尔文帕纳科已开发出并将不断改进其跨平台的 Data Collector 软件。Data Collector 软件具备强大的功能和完备的支持,它不仅能提供更大的自由度和控制力,还能确保安全性和性能。Data Collector 经过了严格验证和测试,可以预编程且易于进行批处理操作,该软件可以不知疲倦地为您连续工作,使您可以有效地利用自己的时间。

以用户为中心的软件

马尔文帕纳科的 Data Collector 控制软件支持创建个人用户帐户,并且可保存配置和批处理编程。

校准和测量过程可实现无缝自动化。该软件有助于设计测量、查看数据以及转换数据以供导出。可以与其他系统交换测量结果以进行数据传输和文件共享。

探测器模式提供了充分的灵活性,允许用户自由设计试验以满足自身的具体需求。例如,三轴分析晶体 (TA) 配合 0D 模式探测器收集的高分辨率倒易空间图可提供更高的灵敏度。

使用 1D 扫描或静态模式的探测器可实现快速倒易空间图测试 (RSM),此方法能够以较高的速度提供中等分辨率。借助PIXcel3D 探测器,可以在类似于摇摆曲线的采集时间内收集RSM。使用 2D 成像模式获取的形貌图可得到反映晶圆质量的即时图像。

迈向自动分析

此外,Automatic Program Processing 软件 (APP) 可以触发使用马尔文帕纳科或其他分析软件来自动分析数据。马尔文帕纳科还提供了一系列分析软件包,涵盖从高分辨率外延薄膜到多晶物相分析的多种应用。

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