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X'Pert³ MRD XL

马尔文帕纳科新一代 X'Pert³ MRD XL 高分辨X射线衍射仪其可靠性的增强及性能的改进提高了分析能力，提供一体化解决方案来满足不同需求和应用：

  • 半导体和单晶晶圆：倒易空间探索、摇摆曲线分析
  • 多晶固体和薄膜：织构分析、反射测量
  • 超薄薄膜、纳米材料和非晶层：掠入射物相鉴定、面内衍射
  • 非常温条件下的测量：随温度和时间变化的峰高
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附件

探测器

PIXcel3D

第一款为您的衍射仪提供 0D-1D-2D 和 3D 数据的探测器

PIXcel3D 是一款独特的 2D 固态混合像素式探测器。 每个像素为 55 微米 x 55 微米，探测器阵列为 256 x 256 像素。 该探测器现在基于 Medipix3 技术，通过单个像素的点扩散函数和多水平能量甄别提供优异的信噪比。

通用附件

X'Pert³ MRD XL 超净间套件

扩展了测量环境，且仅需极少的额外投资

X'Pert3 MRD XL 超净间套件提供多种智能解决方案（包含适用于 MRD XL 的风扇过滤装置），可改装到现有仪器或搭载在新仪器上。

MRD XL 超净间套件可过滤半导体晶圆样品周围的空气，帮助您在分析样品时避免样品污染。因此，您能够借助此套件在更多样的环境中进行测量，而无需购置新仪器。

X’Pert³ MRD XL Automation

面向复杂分层堆叠计量的全自动化解决方案

这款自动化软件是 X’Pert3 MRD XL 工具的附加软件解决方案，可集成到您现有仪器之中，提供符合 SECS/GEM 的主机控制能力。

借助这些新功能，MRD XL 系统能够在主机控制的生产环境中充分体现其模块化和灵活性优势。这可以确保打造出无污染的研究或生产环境。 

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支持合同的选项

凭借在 XRD 分析法领域数十年的丰富经验，马尔文帕纳科已开发出并将不断改进其跨平台的 Data Collector 软件。Data Collector 软件具备强大的功能和完备的支持，它不仅能提供更大的自由度和控制力，还能确保安全性和性能。Data Collector 经过了严格验证和测试，可以预编程且易于进行批处理操作，该软件可以不知疲倦地为您连续工作，使您可以有效地利用自己的时间。

以用户为中心的软件

马尔文帕纳科的 Data Collector 控制软件支持创建个人用户帐户，并且可保存配置和批处理编程。

校准和测量过程可实现无缝自动化。该软件有助于设计测量、查看数据以及转换数据以供导出。可以与其他系统交换测量结果以进行数据传输和文件共享。

探测器模式提供了充分的灵活性，允许用户自由设计试验以满足自身的具体需求。例如，三轴分析晶体 (TA) 配合 0D 模式探测器收集的高分辨率倒易空间图可提供更高的灵敏度。

使用 1D 扫描或静态模式的探测器可实现快速倒易空间图测试 (RSM)，此方法能够以较高的速度提供中等分辨率。借助PIXcel3D 探测器，可以在类似于摇摆曲线的采集时间内收集RSM。使用 2D 成像模式获取的形貌图可得到反映晶圆质量的即时图像。

迈向自动分析

此外，Automatic Program Processing 软件 (APP) 可以触发使用马尔文帕纳科或其他分析软件来自动分析数据。马尔文帕纳科还提供了一系列分析软件包，涵盖从高分辨率外延薄膜到多晶物相分析的多种应用。

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