X'Pert 平台在马尔文帕纳科 X 射线衍射系统的新型 X'Pert³ 系列中得以延用。 X'Pert³ 平台具有新型机载控制电子装置,符合X 射线和运动安全规范,且具有环保和可靠性能,已准备好迎接未来的挑战。

X'Pert³ MRD 系列新增功能具体包括:

• 全新高分辨率测角仪,它使用 Heidenhain 编码器,因而准确性更高且定位反馈时间更短

•无需使用工具即可快速将光管位置从点焦斑更改为线焦斑

• 得益于气动快门和光束衰减器,系统正常运行时间满足过程控制要求

• CRISP*(包括无铅光管塔)确保入射光路组件的寿命更长

• 第二代 PreFIX,确保实现更准确的光学器件定位

• 面向未来的单板计算机控制器,确保更好的连接性和更出色的远程支持


*CRISP 指的是耐腐蚀智能入射光路。CRISP 可防止入射光路中出现由 X 射线引起的电离空气造成的腐蚀。该技术使仪器运行更可靠,避免额外的维护工作。

支持的产品

X'Pert³ MRD

新一代高分辨X射线衍射仪
Image
测量
Epitaxy analysis
Interface roughness
Phase identification
Phase quantification
Reciprocal space analysis
Residual stress
Texture analysis
Thin film metrology
Wafer mapping
100 mm
C-to-C wafer loader
No
Goniometer configuration
Horizontal goniometer, Θ-2Θ
Minimum step size
0.0001º
技术类型
X-ray Diffraction (XRD)

X'Pert³ MRD XL

新一代高分辨X射线衍射仪
Image
测量
Reciprocal space analysis
Texture analysis
Thin film metrology
Texture analysis
Phase quantification
Residual stress
Interface roughness
Epitaxy analysis
Accuracy
1% (non-condensing)
技术类型
X-ray Diffraction (XRD)