X'Pert³ MRD Pre-installation manual
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See the current X'Pert3 range . Learn more
Learn more马尔文帕纳科新一代 X'Pert³ MRD 高分辨X射线衍射仪其可靠性的增强及性能的改进提高了分析能力,提供一体化解决方案来满足不同需求和应用:
• 半导体和单晶晶圆:倒易空间探索、摇摆曲线分析
• 多晶固体和薄膜:织构分析、反射测量
• 超薄薄膜、纳米材料和非晶层:掠入射物相鉴定、面内衍射
• 非常温条件下的测量:随温度和时间变化的峰高
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PIXcel3D 是一款独特的 2D 固态混合像素式探测器。 每个像素为 55 微米 x 55 微米,探测器阵列为 256 x 256 像素。 该探测器现在基于 Medipix3 技术,通过单个像素的点扩散函数和多水平能量甄别提供优异的信噪比。
凭借在 XRD 分析法领域数十年的丰富经验,马尔文帕纳科已开发出并将不断改进其跨平台的 Data Collector 软件。Data Collector 软件具备强大的功能和完备的支持,它不仅能提供更大的自由度和控制力,还能确保安全性和性能。Data Collector 经过了严格验证和测试,可以预编程且易于进行批处理操作,该软件可以不知疲倦地为您连续工作,使您可以有效地利用自己的时间。
马尔文帕纳科的 Data Collector 控制软件支持创建个人用户帐户,并且可保存配置和批处理编程。
校准和测量过程可实现无缝自动化。该软件有助于设计测量、查看数据以及转换数据以供导出。可以与其他系统交换测量结果以进行数据传输和文件共享。
探测器模式提供了充分的灵活性,允许用户自由设计试验以满足自身的具体需求。例如,三轴分析晶体 (TA) 配合 0D 模式探测器收集的高分辨率倒易空间图可提供更高的灵敏度。
使用 1D 扫描或静态模式的探测器可实现快速倒易空间图测试 (RSM),此方法能够以较高的速度提供中等分辨率。借助PIXcel3D 探测器,可以在类似于摇摆曲线的采集时间内收集RSM。使用 2D 成像模式获取的形貌图可得到反映晶圆质量的即时图像。
此外,Automatic Program Processing 软件 (APP) 可以触发使用马尔文帕纳科或其他分析软件来自动分析数据。马尔文帕纳科还提供了一系列分析软件包,涵盖从高分辨率外延薄膜到多晶物相分析的多种应用。