X'Pert³ MRD
The X'Pert³ MRD systems offer advanced and innovative X-ray diffraction solutions from research to process development and process control.
Features include
- Wafer max. diameter: 100 mm
- SECS/GEM
- Cleanroom ISO 4
X'Pert³ is now a Smart Instrument!. Find out more
Find out moreX'Pert 平台在马尔文帕纳科 X 射线衍射系统的新型 X'Pert³ 系列中得以延用。 X'Pert³ 平台具有新型机载控制电子装置,符合X 射线和运动安全规范,且具有环保和可靠性能,已准备好迎接未来的挑战。
X'Pert³ MRD 系列新增功能具体包括:
• 全新高分辨率测角仪,它使用 Heidenhain 编码器,因而准确性更高且定位反馈时间更短
•无需使用工具即可快速将光管位置从点焦斑更改为线焦斑
• 得益于气动快门和光束衰减器,系统正常运行时间满足过程控制要求
• CRISP*(包括无铅光管塔)确保入射光路组件的寿命更长
• 第二代 PreFIX,确保实现更准确的光学器件定位
• 面向未来的单板计算机控制器,确保更好的连接性和更出色的远程支持
*CRISP 指的是耐腐蚀智能入射光路。CRISP 可防止入射光路中出现由 X 射线引起的电离空气造成的腐蚀。该技术使仪器运行更可靠,避免额外的维护工作。
The X'Pert³ MRD systems offer advanced and innovative X-ray diffraction solutions from research to process development and process control.
Features include
An extra PreFIX mounting platform allows mounting of an X-ray mirror and a high-resolution monochromator in-line, increasing significantly the intensity of the incident beam.
Features include
X'Pert³ MRD新一代高分辨X射线衍射仪 |
X'Pert³ MRD XL新一代高分辨X射线衍射仪 |
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技术类型 | ||
X 射线衍射 (XRD) | ||
测量类型 | ||
物相鉴定 | ||
物相定量 | ||
薄膜测量 | ||
残余应力 | ||
界面粗糙度 | ||
外延附生分析 | ||
织构分析 | ||
倒易空间分析 | ||
Wafer max. diameter | 100 mm | 300 mm |
SECS/GEM | ||
Cleanroom ISO 4 |