X’Pert³ MRD XL Automation

概览

MRD XL Automation 为我们最先进的晶圆分析仪器添加了 SECS/GEM 功能，支持比以往更快速、更清洁、更高效的半导体加工。该软件通过应用广泛的 SECS/GEM 协议在设备与主机之间实现定期的双向通信，从而实现整个晶圆分析过程的自动化，从晶圆选择、晶圆测量，一直到结果发布。

除了更快速、更高效的分析之外，全自动化流程也消除了人工干预的需要。在晶圆分析中，人工接触是主要的污染来源，所以这项功能在确保实现更清洁的研究或生产环境方面是一个巨大的优势。

特性与优势

高级自动化功能

全面可定制的选项

未来无忧的功能

模块化方法

使用寿命长

• 高级自动化功能
  MRD XL Automation 软件可帮助您实现完全自动化的晶圆分析流程，省去人为参与的需要
  
  
• 全面可定制的选项
  MRD XL Automation 软件采用全面可定制的框架，这让您可以根据具体需要调整配置
  
  
• 未来无忧的功能
  自动化是半导体创新的前沿阵线，MRD XL Automation 让您的业务能跟上业界的快速发展步调
  
  
• 模块化方法
  X’Pert ³ MRD XL 是一种模块化系统。它提供多种工具和功能，支持轻松配置，从而满足贵司的需求。这样的一体化方法意味着您不必为新仪器投入太多资金
  
  
• 使用寿命长
  我们为 MRD XL 仪器提供优质服务和支持，可确保这种工具能跟上您业务发展的步调
  

服务

为确保您的仪器保持出色状态、发挥卓越性能，我们提供了广泛的服务。从服务工程师到全球客户支持网络，我们随时为您提供帮助、建议和技术支持。如果有需要，欢迎随时联系我们！

• 现场部件更换和调整
• 全球客户支持网络