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薄膜计量

X 射线薄膜分析

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薄膜计量

在各种层结构的微电子和光电子器件的开发和批量生产中，X 射线计量是用于薄膜分析的理想工具。 

X 射线计量技术通过开发基于层的新应用和技术紧紧跟随行业的发展。 

它们在从半导体设备的研发阶段到试点生产，再到全面自动化投产的整个过程中始终是不可或缺的工具。

薄膜分析解决方案

基于 X 射线方法的测量工具，如 XRD、XRR 和 XRF 经证明可以快速、无损、可靠、准确地获取从超薄单层到复杂多层薄膜的关键薄膜参数。

请参阅下方，了解有关薄膜分析仪器的更多信息。

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    测量类型

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    多功能材料研究衍射系统

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    测量类型

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    • X 射线衍射 (XRD)
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