在各种层结构的微电子和光电子器件的开发和批量生产中,X 射线计量是用于薄膜分析的理想工具。
X 射线计量技术通过开发基于层的新应用和技术紧紧跟随行业的发展。
它们在从半导体设备的研发阶段到试点生产,再到全面自动化投产的整个过程中始终是不可或缺的工具。
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测量类型 | ||||||
薄膜测量 | ||||||
技术类型 | ||||||
波长色散式 X 射线荧光 (WDXRF) | ||||||
X 射线衍射 (XRD) | ||||||
能量色散式 X 射线荧光 (EDXRF) |