X'Pert³ MRD XL 超净间套件

扩展了测量环境,且仅需极少的额外投资

X'Pert3 MRD XL 超净间套件提供多种智能解决方案(包含适用于 MRD XL 的风扇过滤装置),可改装到现有仪器或搭载在新仪器上。

MRD XL 超净间套件可过滤半导体晶圆样品周围的空气,帮助您在分析样品时避免样品污染。因此,您能够借助此套件在更多样的环境中进行测量,而无需购置新仪器。

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概览

此超净间套件的预过滤器和 HEPA 过滤器能以至少 99.995% 的分离效率过滤掉进入进气口的尘埃颗粒。因此,过滤装置可确保 MRD XL 中在样品附近流动的空气经过净化,清洁无尘。

超净间套件符合洁净度等级 ISO Class 4 标准,使您能够扩大可用测量环境范围,而且支持您从实验室环境过渡到生产环境,同时可采用更复杂的分析方法。

优点和功能

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适用于多种环境,包括超净间 (ISO Class 4)保持大多数安全认证的改装解决方案灵活的一体式套件,满足您的多样需求无需添置新仪器,节省资金投入耐用性出色,使用寿命更长

  • 超净间套件符合 ISO Class 4 标准
    超净间套件适用于多种测量环境,包括实验室、医疗设备、微环境和超净间。

  • 可现场改装
    可在现场将超净间套件轻松改装到 X'Pert3 MRD XL 上。服务工程师会在安装升级套件之前彻底清洁测量室内部。或者,如果您购买的是附带超净间套件的新款 X'Pert3 MRD XL,则此套件将内置于超净间中,并进行双重包装。

  • 保持大多数安全认证
    超净间套件可通过高性能磁铁改装到 X'Pert3 MRD XL 上,确保不会对仪器机柜进行物理改动。此方法使用系统的高功率 X 射线,使您能够保持大多数现有的安全认证。

  • 模块化方法
    X'Pert3 MRD XL 是一个模块化系统。提供多种工具和功能,可对该系统进行轻松配置,从而满足贵司的需求,并且不断推陈出新。采用这种一体化方法意味着您无需在新仪器上投入太多资金。

  • 使用寿命长
    超净间套件极为耐用,可长时间使用。

服务

我们的解决方案可提供高水平的客户服务、支持和建议,无论是来自我们的服务工程师,还是来自我们的全球客户支持网络。请随时与我们联系!

  • 现场改装
  • 现场部件更换和调整
  • 全球客户支持网络