晶体是原子的重复排列模式,这意味着我们从进入该晶体的电子/光子的角度所看到的景象取决于我们观察晶体的角度。视角可以是贯穿整个晶体的通道,也可以只是材料的顶部三层,因此材料特性会因角度不同而大相径庭。要控制好材料特性,就必须控制好晶体取向。
它是离子注入、光刻、外延的重要工艺,也是制造激光或光学组件的重要工艺。
晶体取向系列基于方位扫描,这是一种智能几何测量技术,用于确定晶体取向。这意味着,我们不仅能在 10 秒内测得主轴的倾斜度,还能测得所有面内方向。此仪器几乎可以测量任何形状的单晶体,如晶圆、晶棒、胚晶和晶锭等。
专为工业应用而设计,如供单晶或晶圆制造商、研究用途使用,也可用于晶圆和其他设备的质量控制,
我们的高精度晶体取向系统可提供简单快速的晶体取向测量,确保为下一步加工步骤提供所需的特性。
用于超快晶体定向的全自动立式三轴 X 射线衍射仪
主要特征
快速、精确且方案完备的晶圆定向和分选设备
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采用紧凑封装,以超快速度测量底面的晶体取向
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