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XRD-OEM

晶棒、铸锭和切片的全自动在线晶向定位

您的专业解决方案,用于硅锭、晶锭和板材的自动化在线处理、加工和测量。XRD-OEM 针对极端环境进行了性能优化,是一种强大的解决方案,能够提高工作效率、确保质量控制并优化生产工艺。

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概览

XRD-OEM 是您生产工艺的变革者。这款 X 射线衍射仪可经受苛刻的研磨和切割条件,其行业标准接口可与任何加工系统无缝集成。XRD-OEM 提供硅锭、晶锭或板材的独立取向测量,能够在平面和圆周上进行测量,而光学 V 槽检测可确保在锯切或研磨流程之前进行精确的预对准。

特点和优点

紧凑且互联

XRD-OEM 可以毫不费力地与任何自动化或加工系统集成,实现精简、高效和连续的操作。紧凑的设计和标准工业接口可确保其轻松融入任何制造环境,并与现有仪器和系统完美结合。

紧凑且互联

强悍实力,应对您的流程需求

XRD-OEM 适应性强,可在任何需要的环境中使用,包括研磨和切割过程。即使在苛刻的生产条件下,它也能可靠、精确地工作。

强悍实力,应对您的流程需求

快速精准

XRD-OEM 在最重要的地方提供自动化精度。实现晶体取向精确测定,可支持您高标准的质量控制,同时优化您的流程,以提高效率和整体质量。

XRD-OEM 可测定平面和圆周的晶体取向,应用范围更广。 

快速精准

光学 V 槽检测

光学 V 槽检测可精确识别和表征样品上的平槽和 V 槽特征,这在锯切或研磨流程之前对大硅锭进行预对准至关重要。

光学 V 槽检测

多种样品尺寸

XRD-OEM 可测定平面和圆周的晶体取向,应用范围更广。

多种样品尺寸

主要应用

生产和加工
XRD-OEM 的设计充分考虑了您忙碌的生产环境。作为一种在线仪器,它可以集成到您的自动化高通量设置中,作为测量并处理硅锭、晶锭和板材的有效解决方案。其能够测量包括 Si、SiC、GaAs 等在内的一系列化合物半导体材料,并且采用空气冷却、结构紧凑,使其成为一款功能强大且成本效益高的工艺辅助工具。

锯切或研磨前的硅锭预对准
凭借其准确的预对准功能,XRD-OEM 可在进一步的加工步骤之前实现精确的定位和取向控制。
质量控制
快速取向测量在生产中至关重要,而 XRD-OEM 可快速提供高质量数据。XRD-OEM 能够无缝融入您的新流程或现有自动化流程,帮助您为未来的自动化制造做好准备。

规格

V 槽位置 0.005°
V 槽深度 0.005 mm
典型 V 槽轮廓角度 < 0.5°
直径 0.02 mm
平槽位置 < 0.03°
平槽长度 < 0.3 mm

支持

支持服务 

  • 电话和远程支持
  • 预防性维护和检查
  • 灵活的客户服务协议
  • 性能认证
  • 硬件和软件升级
  • 本地和全球支持

专业知识

  • 元素和结构半导体计量的统包解决方案
  • 自动化和咨询
  • 培训和教育
使用在线 XRD-OEM 实现自动化。

使用在线 XRD-OEM 实现自动化。

即使在具有挑战性的环境中,通过在线 XRD-OEM 也能提升生产效率,对晶体进行出色的质量控制,并优化生产工艺。

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