概览
XRD-OEM 是您生产工艺的变革者。这款X射线衍射仪可在研磨和切割机的苛刻环境中使用,其行业标准接口可与任何加工系统无缝集成。XRD-OEM 提供晶棒、铸锭或切片的晶向测定,能够在平面和圆周上进行测量,而V 槽的光学测量,可确保在线锯或研磨流程之前对样品进行精确的预对准。
特点和优点
小巧,易于连接
XRD-OEM 可以毫不费力地与任何自动化或加工系统集成,实现精简、高效和连续的操作。小巧的设计和标准工业接口可确保其轻松融入任何制造环境,并与现有仪器和系统完美结合。
强悍实力,应对您的流程需求
XRD-OEM 适应性强,可在任何需要的环境中使用,包括研磨和切割过程。即使在苛刻的生产条件下,它也能可靠、精确地工作。
快速精准
XRD-OEM 在最重要的地方提供自动化精度。实现晶向定位精确测定,可支持您高标准的质量控制,同时优化您的流程,以提高效率和整体质量。
XRD-OEM 可测定端面和圆周的晶体取向,应用范围更广。
V槽的光学检测
V槽的光学检测可精确识别和表征样品上的平槽和V槽特征,这在锯切或研磨流程之前对大晶棒进行预对准至关重要。
多种样品尺寸
XRD-OEM 可测定端面和圆周的晶体取向,应用范围更广。
主要应用
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- 生产和加工
- XRD-OEM 的设计充分考虑了您忙碌的生产环境。作为一种在线仪器,它可以集成到您的自动化高通量设置中,作为测量并处理晶棒、铸锭和切片的有效解决方案。其能够测量包括 Si、SiC、GaAs 等在内的一系列化合物半导体材料,并且采用空气冷却、结构小巧,使其成为一款功能强大且成本效益高的工艺辅助工具。
- 锯切或研磨前的晶棒预对准
- 凭借其准确的预对准功能,XRD-OEM 可在进一步的加工步骤之前实现精确的定位和取向控制。
- 质量控制
- 快速晶向定位测定在生产中至关重要,而 XRD-OEM 可快速提供高质量数据。XRD-OEM 能够无缝融入您的新流程或现有自动化流程,帮助您为未来的自动化制造做好准备。
规格
V 槽位置 | 0.005° |
V 槽深度 | 0.005 mm |
典型 V 槽轮廓角度 | < 0.5° |
直径 | 0.02 mm |
平槽位置 | < 0.03° |
平槽长度 | < 0.3 mm |
支持
支持服务
- 电话和远程支持
- 预防性维护和检查
- 灵活的客户服务协议
- 性能认证
- 硬件和软件升级
- 本地和全球支持
专业知识
- 元素和结构半导体计量的统包解决方案
- 自动化和咨询
- 培训和教育