DDCOM

小巧多工高速型自动晶向定位

使用我们专有的扫描方法,在几秒钟内精确测定整个晶向定位。DDCOM 效率高、能耗低、运行成本低,是研究和工业应用的理想选择。

下载样本
索取报价 要求演示 联系销售部门

概览

动动手指即可实现精度高达0.01°的超快晶向定位设备。DDCOM获得可靠结果的速度比传统方法快 100 倍以上,由于采用了从底部测量的结构设计,还能节省更多的检测时间。这款拥有出色多功能性的仪器采用了风冷X射线光管和便携式设计,可确保降低运行成本、尽可能提高便利性,是质量控制、样品标记和研究应用的理想选择。

特点和优点

高速高精度测量

我们专有的扫描方法只需测量一次,即可收集测定晶向定位所需的所有数据,并在几秒钟内(单次旋转)提供精确的结果。 

针对不同材料而设计的仪器结构,可实现以旋转轴为参考,对晶面进行超快速定向,精度随着扫描旋转次数的增加而增加。

紧凑且用户友好的设计

DDCOM 的紧凑型设计使系统能够适应任何环境。软件功能强大且直观,为各类用户提供方便且易于操作的功能。

精确高效的控制

对切割、研磨和抛光流程的精度控制达到0.01°。 DDCOM提供了完整的晶面定向结果,专为晶向方位的固定和标记而设计。

预设置的晶体参数能够测定各种结构的任意未知取向,并有助于改进工艺流程以提高效率。各种载物台配件,支持在不同的工艺流程中进行测量。

功能多样且具备成本效益

DDCOM 配备齐全,适合需要分析各种样品类型的研究和生产环境。DDCOM 的运行成本较低,这得益于其低能耗和风冷X射线光管 - 无需水冷却。

该仪器可以测量一系列具有不同结构的不同材料,使其成为任何实验室的多功能补充。可测量材料的一些示例包括:

  • 立方晶系,任意未知取向:Si、Ge、GaAs、GaP、InP
  • 立方晶系、特殊取向:Ag、Au、Ni、Pt、GaSb、InAs、InSb、AlSb、ZnTe、CdTe、SiC3C、PbS、PbTe、SnTe、MgO、LiF、MgAl2O4、SrTiO3、LaTiO3
  • 四方晶系:MgF2、TiO2、SrLaAlO4
  • 六方晶系和三角晶系:SiC 2H、4H、6H、15R、GaN、ZnO、LiNbO3、SiO2(石英)、Al2O3(蓝宝石)、GaPO4、La3Ga5SiO14
  • 正交晶系:Mg2SiO4、NdGaO

主要应用

用于切割、研磨和抛光流程的晶体取向控制
DDCOM XRD 占地面积小、自动化能力强、测量速度快,为您提供了一种方便、用户友好的晶向定位测量方法,能够精确有效地控制切割、研磨和抛光流程。
晶向定位的设置和标记
DDCOM 配备晶体取向的方位设置和标记。晶圆标记依赖于卓越的精度和快速监控,而 DDCOM 可提供您的流程所需的速度和精度。它有着轻巧便携的特点,可轻松整合到现有设置中,也可方便地纳入新流程。
质量控制
测量速度和通量时间对于生产质量控制至关重要,但对于常规测量而言,保持低运行成本也很重要。由于采用自上而下的测量几何结构,DDCOM 不仅在通量和生产率方面具有出色的效率,能源使用的效率同样出众,能够帮您降低成本、优化流程运行,同时不影响质量。
材料研究
DDCOM 能够在较小的实验室空间内测量多种晶体类型,是标准研究工作流程的理想选择。通过最大限度地减少能耗并使用无需水冷却的风冷X射线光管,它能将运行成本保持在较低水平。无论用户经验水平如何,DDCOM 都易于访问、易于操作,因此是研究实验室的实用解决方案。

规格

技术规格
X 射线源 30 W 风冷 X 射线光管,铜阳极
探测器 两个闪烁探测器
样品支架 精密载台、设置精度 0.01°、用于定义样品定位和标记的工具
物理规格
尺寸 600 mm × 600 mm × 850 mm
重量 80 公斤
电源 100-230 V,500 W,单相
室温 ≤ 30° C
可选配置
用于晶圆多点扫描(最大直径 225 mm)的装置
可从晶圆匣自动装载晶圆片
可测量材料示例
立方晶系/任意未知取向:Si、Ge、GaAs、GaP、AlAs、AlP、InP、NaCl、AgCl、CaF2
立方晶系/特殊取向:Ag、Au、Ni、Pt、GaSb、InAs、InSb、AlSb、ZnTe、CdTe、SiC 3C、PbS、PbTe、SnTe、MgO、LiF、MgAl2O4、SrTiO3、LaTiO3
四方晶系:MgF2、TiO2、SrLaAlO4
六方晶系/三角晶系:SiC 2H、4H、6H、15R、GaN、ZnO、LiNbO3、SiO2(石英)、Al2O3(蓝宝石)、GaPO4、La3Ga5SiO14
正交晶系:Mg2SiO4、NdGaO3
根据客户需求提供更多材料

配件

从载盘自动装载

一个额外的工具,可以从载盘自动装载样品,从而缩短通量时间并提高工作流程效率。

从载盘自动装载

支持

支持服务 

  • 电话和远程支持
  • 预防性维护和检查
  • 灵活的客户服务协议
  • 性能认证
  • 硬件和软件升级
  • 本地和全球支持

专业知识

  • 元素和结构半导体计量的统包解决方案
  • 自动化和咨询
  • 培训和教育
桌面上功能强大的自动化 XRD

桌面上功能强大的自动化 XRD

借助自动化功能实现多功能、超快速的晶体取向测量 - 一切都在一台具备成本效益的轻便桌面仪器中完成。

索取报价 要求演示 联系销售部门