用于晶圆映射的设备
用于探索和映射晶体取向或表面畸变的可选插件。
动动手指即可实现精度高达 (1/100)o 的超快晶体取向。DDCOM 获得可靠结果的速度比传统方法快 100 倍以上,并且由于采用自下而上的测量几何结构,还能节省更多时间。这款拥有出色多功能性的仪器采用风冷 X射线光管和便携式设计,可确保降低运行成本,同时尽可能提高便利性。
这种方法仅需一次扫描旋转即可收集确定晶体取向所需的所有数据。有关旋转轴的测量增加了吞吐量,同时可在短短几秒钟内提供精确的结果。
保持对切割、研磨和抛光流程的控制,精度高达 1/100o。DDCOM 提供单晶的完整晶格取向。它还可以由预编程的晶体参数启用,从而确定各种结构的任意未知方向。方位角设置功能与晶体方向标记相结合,有助于优化工作流,提高效率。
DDCOM 的紧凑型设计使系统能够适应任何环境。软件功能强大且直观,为各类用户提供方便且易于操作的功能。
DDCOM 配备齐全,适合需要分析各种样品类型的研究和生产环境。DDCOM 的运行成本较低,这得益于其低能耗和风冷 X 射线光管 - 无需水冷却。
该仪器可以测量一系列具有不同结构的不同材料,让任何实验室都具备灵活性。可测量材料的一些示例包括:
技术规格 | |
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X射线源 | 30 W 风冷 X射线光管,铜阳极 |
探测器 | 两个闪烁计数器 |
样品杯 | 精密转台、设置精度 0.01°、用于定义样品定位和标记的工具 |
物理规格 | |
尺寸 | 600 mm × 600 mm × 850 mm |
重量 | 80 kg |
电源 | 100-230 V,500 W,单相 |
室温 | ≤ 30° C |
配置选项 | |
用于晶圆映射(最大直径 225 mm)的装置 | |
用于从载盘自动装载的装置 | |
可测量材料示例 | |
立方晶系/任意未知取向: Si、Ge、GaAs、GaP、AlAs、AlP、InP、NaCl、AgCl、CaF 2 | |
立方晶系/特殊取向: Ag、Au、Ni、Pt、GaSb、InAs、InSb、AlSb、ZnTe、CdTe、SiC 3C、PbS、PbTe、SnTe、MgO、LiF、MgAl 2 O 4 、SrTiO 3 、LaTiO 3 | |
四方晶系: MgF 2 、TiO 2 、SrLaAlO 4 | |
六方晶系/三角晶系: SiC 2H、4H、6H、15R、GaN、ZnO、LiNbO 3 、SiO 2 (石英)、Al 2 O 3 (蓝宝石)、GaPO 4 、La 3 Ga 5 SiO 14 | |
正交晶系: Mg 2 SiO 4 、NdGaO 3 | |
根据客户需求提供更多材料 |