基于 X 射线方法的薄膜计量工具,如 XRD、XRR 和 XRF,快速且无破坏性。 它们经过验证,能够对薄层、异质结构和超晶格系统的重要材料参数进行离位分析,从而降低至纳米级。 产生的信息对于优化薄膜质量、提高生产效率并降低成本至关重要。 Malvern Panalytical 为基于层结构的微电子和光电子器件的开发和生产控制提供计量解决方案。

X'Pert3 MRD

X'Pert3 MRD (XL)

2830 ZT 圆晶分析仪

X'Pert3 MRD

新一代的高分辨X射线衍射仪

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先进的半导体薄膜计量解决方案

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技术类型
X-ray Diffraction (XRD)
Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)
测量类型
物相鉴定
Phase quantification
薄膜测量
Residual stress
Epitaxy analysis
Interface roughness
织构分析
Reciprocal space analysis
化学鉴定
Elemental analysis
Contaminant detection and analysis
Elemental quantification