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X 射线计量

通过薄膜计量提高薄膜质量

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X 射线计量

基于 X 射线方法的薄膜计量工具，如 XRD、XRR 和 XRF，快速且无破坏性。 它们经过验证，能够对薄层、异质结构和超晶格系统的重要材料参数进行离位分析，从而降低至纳米级。 

产生的信息对于优化薄膜质量、提高生产效率并降低成本至关重要。

马尔文帕纳科为基于层结构的微电子和光电子器件的开发和生产控制提供计量解决方案。

我们的产品如何比较

  • 2830 ZT

    半导体薄膜计量解决方案

    2830 ZT

    技术类型

    • 波长色散式 X 射线荧光 (WDXRF)

    测量类型

    • 薄膜测量
    • 化学鉴定
    • 元素分析
    • 污染物检测与分析
    • 元素量化
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  • X'Pert³ MRD

    新一代高分辨X射线衍射仪

    X'Pert³ MRD

    技术类型

    • 波长色散式 X 射线荧光 (WDXRF)

    测量类型

    • 薄膜测量
    • 化学鉴定
    • 元素分析
    • 污染物检测与分析
    • 元素量化
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  • X'Pert³ MRD XL

    多功能材料研究衍射系统

    X'Pert³ MRD XL

    技术类型

    • 波长色散式 X 射线荧光 (WDXRF)

    测量类型

    • 薄膜测量
    • 化学鉴定
    • 元素分析
    • 污染物检测与分析
    • 元素量化
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