任何真实的分层结构的表面和界面都不会以原子级尺寸清晰显示。 界面粗糙度及界面之间的相关性对于许多应用而言是至关重要的。 因此,对界面质量的认知和控制符合实际利益和基本利益。

X 射线散射提供了获取埋入界面信息的无损方法。 X 射线反射计对于膜厚度、材料密度和界面粗糙度非常灵敏。 然而,仅从镜面反射来看,无法将密度梯度与物理粗糙度区分开来。 来自粗糙表面/界面的漫反射非相干部分可以通过 X 射线非镜面散射得到最佳测量。 在其中一次扫描中,样品以固定的检测器角度旋转。


漫散射数据揭示了粗糙度的典型特征。 在镜面部分较低和较高侧的这些翼形(即所谓的 Yoneda 峰)表明存在粗糙度。 从翼形到镜面部分的范围受散射长度密度的影响。 通过拟合描述失真波玻恩近似中的粗糙界面的样本模型,来进行分析。