概览
Omega/Theta XRD是一款具备前瞻性且非常可靠的工具， 用于在多变的半导体领域确定晶体取向，其市场领先的精度、极快的测量速度和高端的构建质量与自动化的力量相结合，能够确保满足任何工艺流程的需求。Omega/Theta XRD在晶体定向和对准方面具有无与伦比的效率和精度，非常适合生产和研究应用。
特点和优点
采用专有扫描技术实现高速高精度测量
我们的方法只需要一次测量即可收集所有必要的数据，从而实现完整的定向分析，在非常短的测量时间内(大约几秒钟)，即可实现高精度检测。
易于连接，可实现高级连接和自动化测量
Omega/Theta XRD 的所有测量都是自动化的，并通过方便用户使用的XRD软件进行管理。可以使用各种 MES、SECS/GEM 和类似接口轻松将该仪器集成到生产环境中的现有工艺流程中。
表征一系列材料
Omega/Theta XRD 可用于表征所有单晶材料。常用材料包括：
- Si
- Ge
- SiC
- AIN
- GaN
- GaAs
- 石英
- LiNbO3
- CdTe
- BBO
方便、灵活的样品分析
我们的各种配件提高了Omega/Theta XRD在不同应用中的生产效率，从子晶钻孔、研磨、切片，一直到最终的晶圆几何形状控制-即使这些需求会随着时间的推移而变化，设备也能够完全兼容。附件包括:
- 全自动X-Y面扫样品台，在用户定义的区域内对晶体取向和表面畸变进行扫描
- 用于在锯切前对准晶棒的堆垛台
- 用于质量测量的摇摆曲线工具
- 附加样品旋转轴
- 照相机和图像处理
- 用于测量样品形状的激光扫描仪
- 样品调整设备
- 还有更多的定制工程解决方案！
Omega/Theta XRD 具有定制的样品杯，能满足从大晶棒到小圆柱体的任何需求，可容纳各种样品尺寸，确保其在生产工作流程中与研究中同样适用。
主要应用
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- 生产
- Omega/Theta XRD 专为制造商设计。它非常适合在生产中对各种晶体类型进行高速晶向定位与对准、对面内方向进行标记或者检查平槽或 V 字型缺口的取向。由于它具有高通量速度和稳健的自动化功能，因此也是控制生产质量的理想选择。
- Omega/Theta XRD 的可选的附件（例如用于在锯切前对准晶棒的堆垛台和用于质量测量的摇摆曲线工具）使其成为生产应用的全能型合作伙伴。
- 材料研究
- Omega/Theta XRD 的高精度和灵活性意味着它非常适合用于材料研究，因为它可以容纳各种重量达 30 kg、长度达 450 mm 的样品，并且还可以为更大或更复杂的样品提供额外的样品台。
- 它能够表征各种材料，使其对您的研发过程非常有价值 – 多功能的 Theta 扫描带来了无尽的测量可能性。
规格
| 技术规格 | |
|---|---|
| X 射线源 | 标准 X 射线光管，铜阳极 |
| 探测器 | 闪烁探测器（单个或双个） |
| 样品支架 | 用于样品调整的精密载台、锚定台和工具 |
| 晶体准直器 | 可选 |
| 面扫 | 提供重型面扫样品台 |
| 软件 | XRDStudio |
| 水冷却 | 流量 – 4l/min，最大压力 8 bar，T ≤ 30°C |
| PC 工作站 | Windows 7 或最新版本，.NET Framework 更新 |
| 尺寸 | 高 1950 mm × 深 820 mm × 宽 1200 mm |
| 重量 | 约 650 kg |
| 电源要求 | 208-240 V、16 A 单相、50-60 Hz |
| 认证 | 根据 ISO 9001 准则制造，符合 CE 标准 |
配件
自动 X-Y 面扫样品台
使用载台上方的附加X-Y面扫台，在用户定义的区域内，轻松实现对晶体取向或表面畸变的面扫。面扫样品台可以通过自定义的表面扫描对整个样品表面进行全面探索。
支持
支持服务
- 电话和远程支持
- 预防性维护和检查
- 灵活的客户服务协议
- 性能认证
- 硬件和软件升级
- 本地和全球支持
专业知识
- 元素与结构半导体计量的一站式解决方案
- 自动化与咨询服务
- 培训和教育
