Omega/Theta Pre-installation Manual (English)
版本号: 1
概述
Omega/Theta 为晶格取向测定提供了卓越的综合精度和速度。它具备多个工艺配件，其中包括条形码阅读器、映射表和晶体堆叠框架。Omega/Theta 是您可靠的合作伙伴，可帮助您了解晶体取向并转到下一个加工步骤。
在快速发展的半导体领域，Omega/Theta 是您测定晶体取向的可靠合作伙伴。
市场领先的精度、极快的测量速度和高端构建质量与自动化的强大功能相结合，为工业和研究应用中的晶体取向和校准提供了无与伦比的效率和精度。
超快速且精确：方位扫描方法
方位扫描方法仅需一次测量旋转，就能收集到所有必要数据，从而完全确定方位，在 10 秒内就能得到结果，同时不会影响精度。
样品旋转 360°，X射线源和探测器的位置能够实现每次旋转都产生一定数量的反射。通过这些反射，可以测量出晶格相对于旋转轴的取向，精度高达 0.003°。
用户友好
Omega/Theta 上的所有测量都是自动化的，并通过用户友好的 XRD 软件进行管理，该软件可为常规工作流程提供现成且基于配方的简易测量体验。
该仪器可以使用其各种 MES、SECS/GEM 和类似接口轻松集成到生产环境的现有流程中。
表征一系列材料
Omega/Theta 可用于表征所有单晶材料。常用材料包括：
- 立方晶系，任意未知取向：Si、Ge、GaAs、GaP、InP
- 立方晶系、特殊取向：Ag、Au、Ni、Pt、GaSb、InAs、InSb、AlSb、ZnTe、CdTe、SiC3C、PbS、PbTe、SnTe、MgO、LiF、MgAl2O4、SrTiO3、LaTiO3
- 四方晶系：MgF2、TiO2、SrLaAlO4
- 六方晶系和三角晶系：SiC 2H、4H、6H、15R、GaN、ZnO、LiNbO3、SiO2（石英）、Al2O3（蓝宝石）、GaPO4、La3Ga5SiO14
- 正交晶系：Mg2SiO4、NdGaO3
- 其他任何单晶材料
方便、灵活的样品处理
我们的配件种类繁多，可提高 Omega/Theta 在各种应用中的生产率，从子晶钻孔到胚晶研磨，再到切片，一直到晶圆末端控制 – 即使相关需求随着时间的推移发生变化，也可以让您保持灵活性。
Omega/Theta 具有专用的样品杯，能满足从大硅锭到小孔板的任何需求，可容纳各种样品尺寸，为生产和研究增添价值。
- 自动 X-Y 映射样品台，在用户定义的网格上映射晶体取向或表面畸变
- 用于在锯切前对准硅锭的堆垛台
- 附加样品旋转轴
- 样品调整设备
- 还有更多的定制工程解决方案！
Omega/Theta 具有定制的样品杯，能满足从大硅锭到小圆柱体的任何需求，可容纳各种样品尺寸，确保其在生产工作流程中与研究中同样适用。
主要应用
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- 生产
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Omega/Theta 专为制造商设计。它非常适合生产中各种晶体类型的超快速取向与对准、对面内方向进行标记，或者检查平槽或 V 槽的取向。凭借高通量速度和稳健的自动化功能，它也是生产质量控制的理想选择。
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提供多种可选附件，例如用于在锯切前对准硅锭的堆垛台和用于质量测量的摇摆曲线工具，这让 Omega/Theta 成为生产应用的多功能合作伙伴。
- 材料研究
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Omega/Theta 的高精度和灵活性意味着它是材料研究的理想选择，因为它可以容纳各种重量达 30 kg、长度达 450 mm 的样品，并且还可以提供额外的样品台，以处理更大或更复杂的样品。
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它能够表征各种材料，对您的研发过程非常有价值 – 灵活的 Theta 扫描开辟了无限的测量可能性。
