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Omega/Theta XRD

用于高速晶向定位的全自动垂直三轴X射线衍射仪

Omega/Theta XRD 在测定晶格方面具有极高的精度和速度。Omega/Theta XRD 具有条形码阅读器和晶体堆叠框架等多种工艺配件,可容纳重量达 30 kg、长度达 450 mm 的一系列样品,并且能在短短 10 秒内返回结果。它是将测量取向转移到加工工具的可靠合作伙伴。

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概览

Omega/Theta XRD 是能够满足未来需求的可靠合作伙伴,可测定多变的半导体环境中的晶向定位。市场领先的精度、极快的测量速度和高端构建质量与自动化的强大功能相结合,确保您的工艺已准备就绪。Omega/Theta XRD 针对晶体取向和对准提供了无与伦比的效率和精度,是生产和研究应用的理想选择。

特点和优点

采用专有扫描技术实现高速高精度测量

我们的方法只需要一个测量圆来收集所有必要的数据,从而完全确定晶向定位。测量精度高、测量时间短,仅需几秒钟时间。

易于连接,可实现高级连接和自动化测量

Omega/Theta XRD 的所有测量都是自动化的,并通过方便用户使用的 XRD软件进行管理。可以使用各种 MES、SECS/GEM 和类似接口轻松将该仪器集成到生产环境中的现有工艺流程中。 

表征一系列材料

Omega/Theta XRD 可用于表征所有单晶材料。常用材料包括:

  • Si
  • Ge
  • SiC
  • AIN
  • GaN
  • GaAs
  • 石英
  • LiNbO3
  • CdTe
  • BBO

方便、灵活的样品分析

我们的各种配件提高了 Omega/Theta XRD 在各种应用中的效率,包括子晶钻孔、研磨、切片和晶圆几何结构末端控制 - 即使这些需求随着时间的推移而变化,也可以让您保持灵活性。插件包括: 

  • 自动化 X-Y 映射样品台,在用户定义的网格上映射晶体取向或表面畸变 
  • 用于在锯切前对准晶棒的堆垛台 
  • 用于质量测量的摇摆曲线工具
  • 附加样品旋转轴
  • 照相机和图像处理
  • 用于测量样品形状的激光扫描仪
  • 样品调整设备
  • 还有更多的定制工程解决方案!
Omega/Theta XRD 具有定制的样品杯,能满足从大晶棒到小圆柱体的任何需求,可容纳各种样品尺寸,确保其在生产工作流程中与研究中同样适用。

主要应用

生产
Omega/Theta XRD 专为制造商设计。它非常适合在生产中对各种晶体类型进行高速晶向定位与对准、对面内方向进行标记或者检查平槽或 V 字型缺口的取向。由于它具有高通量速度和稳健的自动化功能,因此也是控制生产质量的理想选择。 
Omega/Theta XRD 的可选的附件(例如用于在锯切前对准晶棒的堆垛台和用于质量测量的摇摆曲线工具)使其成为生产应用的全能型合作伙伴。
材料研究
Omega/Theta XRD 的高精度和灵活性意味着它非常适合用于材料研究,因为它可以容纳各种重量达 30 kg、长度达 450 mm 的样品,并且还可以为更大或更复杂的样品提供额外的样品台。 
它能够表征各种材料,使其对您的研发过程非常有价值 – 多功能的 Theta 扫描带来了无尽的测量可能性。

规格

技术规格
X 射线源 标准 X 射线光管,铜阳极
探测器 闪烁探测器(单个或双个)
样品杯 用于样品调整的精密载台、安装板和工具
晶体准直器 可用
映射 提供重型映射样品台
软件 XRDStudio
水冷却 流量 – 4l/min,最大压力 8 bar,T ≤ 30°C
PC 工作站 Windows 7 或最新版本,.NET Framework 更新
尺寸 高 1950 mm × 深 820 mm × 宽 1200 mm
重量 约 650 kg
电源要求 208-240 V、16 A 单相、50-60 Hz
认证 根据 ISO 9001 准则制造,符合 CE 标准

配件

附加样品台

我们设计了附加样品台来适应比平均尺寸更小或更大的晶体,这些样品台可用于在不同的工艺阶段测量更大范围的样品尺寸。

附加样品台

样品调整设备

使用专用样品调整工具轻松处理各种类型的样品。

样品调整设备

自动 X-Y 映射样品台

使用载台上方的附加 X-Y 定位台,轻松将晶体取向或表面畸变映射到用户定义的网格上。映射样品台可以通过可定制的表面扫描对整个样品表面进行全面探索。

自动 X-Y 映射样品台

堆垛台

锯切前精确对准晶棒,提高工具利用率。高效的堆垛台在方位扫描期间对准晶棒,然后将完整的堆垛转移到线锯上。这种平行锯切方法非常高效。 

堆垛台

摇摆曲线工具

对生产过程进行快速准确的质量控制测量。指示晶格质量的摇摆曲线可以快速逐点评估,也可以与质量图的映射工具结合使用进行评估。光学器件采用自动化机制,可轻松打开/关闭。

摇摆曲线工具

照相机和图像处理

高质量的照相机和额外的图像处理功能使平槽和 V 槽检测变得更容易。

照相机和图像处理

支持

支持服务 

  • 电话和远程支持
  • 预防性维护和检查
  • 灵活的客户服务协议
  • 性能认证
  • 硬件和软件升级
  • 本地和全球支持

专业知识

  • 元素与结构半导体计量的一站式解决方案
  • 自动化与咨询服务
  • 培训和教育
超快的未来就在眼前,不要落于人后。

超快的未来就在眼前,不要落于人后。

智能、高效的流程是您在不断变化的行业中保持屹立不倒的优势,而 Omega/Theta XRD 就是这一切的起点。以卓越速度实现全自动晶体取向和对准。

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