附加样品台
我们设计了附加样品台来适应比平均尺寸更小或更大的晶体,这些样品台可用于在不同的工艺阶段测量更大范围的样品尺寸。
Omega/Theta XRD是一款具备前瞻性且非常可靠的工具, 用于在多变的半导体领域确定晶体取向,其市场领先的精度、极快的测量速度和高端的构建质量与自动化的力量相结合,能够确保满足任何工艺流程的需求。Omega/Theta XRD在晶体定向和对准方面具有无与伦比的效率和精度,非常适合生产和研究应用。
我们的方法只需要一次测量即可收集所有必要的数据,从而实现完整的定向分析,在非常短的测量时间内(大约几秒钟),即可实现高精度检测。
Omega/Theta XRD 的所有测量都是自动化的,并通过方便用户使用的XRD软件进行管理。可以使用各种 MES、SECS/GEM 和类似接口轻松将该仪器集成到生产环境中的现有工艺流程中。
Omega/Theta XRD 可用于表征所有单晶材料。常用材料包括:
我们的各种配件提高了Omega/Theta XRD在不同应用中的生产效率,从子晶钻孔、研磨、切片,一直到最终的晶圆几何形状控制-即使这些需求会随着时间的推移而变化,设备也能够完全兼容。附件包括:
技术规格 | |
---|---|
X 射线源 | 标准 X 射线光管,铜阳极 |
探测器 | 闪烁探测器(单个或双个) |
样品支架 | 用于样品调整的精密载台、锚定台和工具 |
晶体准直器 | 可选 |
面扫 | 提供重型面扫样品台 |
软件 | XRDStudio |
水冷却 | 流量 – 4l/min,最大压力 8 bar,T ≤ 30°C |
PC 工作站 | Windows 7 或最新版本,.NET Framework 更新 |
尺寸 | 高 1950 mm × 深 820 mm × 宽 1200 mm |
重量 | 约 650 kg |
电源要求 | 208-240 V、16 A 单相、50-60 Hz |
认证 | 根据 ISO 9001 准则制造,符合 CE 标准 |
我们设计了附加样品台来适应比平均尺寸更小或更大的晶体,这些样品台可用于在不同的工艺阶段测量更大范围的样品尺寸。
使用专用样品调整工具轻松处理各种类型的样品。
使用载台上方的附加X-Y面扫台,在用户定义的区域内,轻松实现对晶体取向或表面畸变的面扫。面扫样品台可以通过自定义的表面扫描对整个样品表面进行全面探索。
锯切前精确对准晶棒,提高工具利用率。高效的堆垛台在方位扫描期间对准晶棒,然后将完整的堆垛转移到线锯上。这种平行锯切方法非常高效。
对生产过程进行快速准确的质量控制测量。指示晶格质量的摇摆曲线可以快速逐点评估,也可以与质量图的面扫工具结合使用进行评估。光学器件采用自动化机制,可轻松打开/关闭。
高质量的照相机和额外的图像处理功能使平槽和 V 槽检测变得更容易。
可选的激光扫描仪可以测量精确的样品形状,让您更深入地了解您的材料。