半导体计量
精确和质量是半导体行业的关键词,这个行业的产品在当今世界有着广泛应用。半导体计量是指针对半导体器件和材料的物理和电气特性的测量和表征方面实施的步骤和实践。迄今为止,由测量结果确定的精确尺寸和计量一直是容许偏差非常小和性能高的生产流程的关键因素。
Malvern Panalytical 提供一系列先进的X射线计量解决方案、工具和技术,其开发目的是通过无损测量支持半导体制造的各个阶段(从材料表征到晶圆检测)。
如前所述,计量通过提供必要的材料表征、测量和分析数据,在半导体行业中发挥着至关重要的作用。
随着这个行业不断快速发展,提供结构和化学特性在几个关键领域变得越来越重要:
晶圆检测是一道流程,该流程从结构和化学角度检查半导体晶圆是否存在缺陷、不规则和不均匀。这样,在最终设备上进行功能测试之前就可以发现任何问题。采用X射线计量的晶圆检测通常用于测量以下特性:
把控这些特性对于按照设计规格制造功能器件至关重要。从长远来看,早发现问题可以提高产量并节省时间和资源。
多年来,Malvern Panalytical 一直为客户提供高产量和出色的解决方案,以支持半导体行业中不断变化和不断提高的工艺要求。
Malvern Panalytical 与电子行业紧密合作,在整个价值链中提供广泛的解决方案: