X 射线反射法 (XRR)

在反射实验中，样品的 X 射线反射是在临界角周围测量的。 这在掠入射角周围进行。 低于总外部反射的临界角时，X 射线仅穿透样品几纳米。 高于临界角时，穿透深度会迅速增加。 在电子密度发生变化的每个界面上，都会反射部分 X 射线光束。 这些部分反射的 X 射线光束的干扰会产生在反射实验中观察到的振荡模式。 从这些反射曲线中，可以确定厚度和密度、界面和表面粗糙度等层参数，而不考虑每层的结晶度（单晶、多晶或无定形）。

可以在马尔文帕纳科的 Empyrean 系统上执行反射实验。 

可使用 Reflectivity 软件包中实施的一些列自动拟合程序来分析反射仪数据。 作为马尔文帕纳科 XRD 软件系列的一部分，Reflectivity 采用 XRDML 数据格式。 通过允许模拟到实验镜面 X 射线反射曲线的自动拟合，Reflectivity 使反射仪适用于普通用户，而以前只能用于高度专业的用户。