倒易空间映射是一种测量倒易空间图 (RSM) 的高分辨率 X 射线衍射方法。 这些围绕倒易点阵的图可以揭示单线扫描(例如高分辨率摇摆曲线)所提供的信息之外的其他信息。 RSM 通常用于帮助解释峰位移、峰宽化或峰重叠。

峰位置

外延缓冲层和虚拟基体中晶格应变松弛通常伴随着层倾斜,导致峰值位移。 由于外延应变,摇摆曲线中不对称反射的布拉格峰也会移位。 半导体外延层中的不匹配和穿透位错可以在传统的高分辨率摇摆曲线测量中引起峰宽化和峰重叠。 测量 RSM 是一种隔离这些效应的方法,因此可以精确测量布拉格峰的位置。 这对于测定化合物半导体中的应变、晶格弛豫、成份和层厚度非常重要,例如用于高迁移率电子晶体管 (HEMT) 和 LED 的 GaN 基器件。


层质量

倒易空间映射对于薄层结构中层质量的一般研究尤其有用。 当外延层中存在缺陷时,层被分成镶嵌块,镶嵌块相互之间是倾斜或旋转的完美晶体区域。 与此相似,多晶沉积层中的晶粒可以共享共同的(纤维)方向。 倒易空间映射可用于测量镶嵌块的尺寸和相对倾斜,以研究沉积薄膜中的纹理。 倒易空间图还可以清楚地区分由于这种镶嵌性引起的峰宽化与由于诸如基底曲率之类的其他效应引起的峰宽化。

现在比 URSM 更快

数据流和管理的最新进展意味着,除最高分辨率应用之外的所有应用,PIXcel3D 检测器还可用于超快速倒易空间映射 (URSM)。 可以在比以往更短的时间内覆盖更大的倒易空间区域。

例如,蓝宝石上的 GaN 合金层的完整 (0002) 倒易空间图可以在短短 30 秒内收集。 观看下面的完整视频。