外延附生分析

如今，高分辨率 X 射线衍射是外延层、异质结构和超晶格系统的无损结构分析的有力工具。它是用于工业生产以及外延生长结构开发阶段的标准工具。

从衍射图案中可以获得许多重要信息：合金成分和外延层的均匀性、它们的厚度、应变和应变松弛，以及与其位错密度相关的晶体完整性。在某些情况下，甚至可以研究界面的相互扩散和混合的形成。

为了快速检查，可以使用基板和层的峰值位置进行分析。然而，通常将基于动态散射理论的全模式模拟应用于相关参数的定量测定。

	X'Pert3 MRD 新一代的高分辨X射线衍射仪
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测量	3D structure / imaging
精确度	1% (不凝结)
技术类型	X-ray Diffraction (XRD)
	X'Pert3 MRD (XL) 新一代的高分辨X射线衍射仪
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	Empyrean Range The multipurpose solution for your analytical needs
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外延分层结构分析