如今,高分辨率 X 射线衍射是外延层、异质结构和超晶格系统的无损结构分析的有力工具。 它是用于工业生产以及外延生长结构开发阶段的标准工具。
从衍射图案中可以获得许多重要信息:合金成分和外延层的均匀性、它们的厚度、应变和应变松弛,以及与其位错密度相关的晶体完整性。 在某些情况下,甚至可以研究界面的相互扩散和混合的形成。
为了快速检查,可以使用基板和层的峰值位置进行分析。 然而,通常将基于动态散射理论的全模式模拟应用于相关参数的定量测定。
X'Pert3 MRD新一代的高分辨X射线衍射仪 |
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更多细节 | |
测量 | 3D structure / imaging |
精确度 | 1% (不凝结) |
技术类型 | X-ray Diffraction (XRD) |
X'Pert3 MRD (XL)新一代的高分辨X射线衍射仪 |
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测量 | 3D structure / imaging |
精确度 | 1% (不凝结) |
技术类型 | X-ray Diffraction (XRD) |
Empyrean RangeThe multipurpose solution for your analytical needs |
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测量 | 3D structure / imaging |
精确度 | 1% (不凝结) |
技术类型 | X-ray Diffraction (XRD) |
X'Pert3 MRD新一代的高分辨X射线衍射仪 |
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测量 | 3D structure / imaging | 3D structure / imaging | 3D structure / imaging |
精确度 | 1% (不凝结) | 1% (不凝结) | 1% (不凝结) |
技术类型 | X-ray Diffraction (XRD) | X-ray Diffraction (XRD) | X-ray Diffraction (XRD) |
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