外延分层结构分析
高分辨率 X 射线衍射 是一种强大的工具，可用于外延层、异质结构和超晶格系统的无损结构分析。
它是用于工业生产及外延生长结构开发阶段的标准工具。
从衍射谱图中可以获得许多重要信息，包括：
在某些情况下，甚至可以研究界面的相互扩散和混合的形成。
为了快速检查，可以使用基板和层的峰值位置进行分析。
然而，通常将基于动态散射理论的全模式模拟应用于相关参数的定量测定。
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X'Pert³ MRD新一代高分辨X射线衍射仪 |
X'Pert³ MRD XL新一代高分辨X射线衍射仪 |
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| 技术类型 | |||
| X 射线衍射 (XRD) | |||
| 测量类型 | |||
| 外延附生分析 | |||
| 物相鉴定 | |||
| 物相定量 | |||
| 界面粗糙度 | |||
| 薄膜测量 | |||
| 残余应力 | |||
| 织构分析 | |||
| 倒易空间分析 | |||
| 颗粒形状 | |||
| 颗粒粒度 | |||
| 晶体结构测定 | |||
| 污染物检测与分析 | |||
| 3D 结构/成像 | |||
