如今,高分辨率 X 射线衍射是外延层、异质结构和超晶格系统的无损结构分析的有力工具。 它是用于工业生产以及外延生长结构开发阶段的标准工具。

从衍射图案中可以获得许多重要信息:合金成分和外延层的均匀性、它们的厚度、应变和应变松弛,以及与其位错密度相关的晶体完整性。 在某些情况下,甚至可以研究界面的相互扩散和混合的形成。

为了快速检查,可以使用基板和层的峰值位置进行分析。 然而,通常将基于动态散射理论的全模式模拟应用于相关参数的定量测定。