外延分析​

外延分层结构分析

如今,高分辨率 X 射线衍射是外延层、异质结构和超晶格系统的无损结构分析的有力工具。 它是用于工业生产以及外延生长结构开发阶段的标准工具。

从衍射图案中可以获得许多重要信息:合金成分和外延层的均匀性、它们的厚度、应变和应变松弛,以及与其位错密度相关的晶体完整性。 在某些情况下,甚至可以研究界面的相互扩散和混合的形成。

为了快速检查,可以使用基板和层的峰值位置进行分析。 然而,通常将基于动态散射理论的全模式模拟应用于相关参数的定量测定。

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Empyrean 锐影系列

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可满足您分析需求的多用途解决方案

X'Pert³ MRD

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新一代高分辨X射线衍射仪

X'Pert³ MRD XL

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新一代高分辨X射线衍射仪

技术类型
X 射线衍射 (XRD)
测量类型
外延附生分析
物相鉴定
物相定量
界面粗糙度
薄膜测量
残余应力
织构分析
倒易空间分析
颗粒形状
粒子大小
晶体结构测定
污染物检测与分析
3D 结构/成像