Empyrean 锐影系列
多用途 X 射线衍射仪
技术类型
- X 射线衍射 (XRD)
测量类型
- 外延附生分析
- 物相鉴定
- 物相定量
- 界面粗糙度
- 薄膜测量
- 残余应力
- 织构分析
- 倒易空间分析
- 颗粒形状
- 颗粒粒度
- 晶体结构测定
- 污染物检测与分析
- 3D 结构/成像
高分辨率 X 射线衍射 是一种强大的工具,可用于外延层、异质结构和超晶格系统的无损结构分析。
它是用于工业生产及外延生长结构开发阶段的标准工具。
从衍射谱图中可以获得许多重要信息,包括:
在某些情况下,甚至可以研究界面的相互扩散和混合的形成。
为了快速检查,可以使用基板和层的峰值位置进行分析。
然而,通常将基于动态散射理论的全模式模拟应用于相关参数的定量测定。
多用途 X 射线衍射仪
新一代高分辨X射线衍射仪
多功能材料研究衍射系统