外延附生分析

外延分层结构分析

外延附生分析

高分辨率 X 射线衍射 是一种强大的工具,可用于外延层、异质结构和超晶格系统的无损结构分析。 

它是用于工业生产及外延生长结构开发阶段的标准工具。

衍射数据谱图

从衍射谱图中可以获得许多重要信息,包括: 

  • 外延层合金成分
  • 外延层的均匀性
  • 外延层的厚度
  • 应变和应变松弛、 
  • 与位错密度相关的晶体完整性

在某些情况下,甚至可以研究界面的相互扩散和混合的形成。

数据分析

为了快速检查,可以使用基板和层的峰值位置进行分析。 

然而,通常将基于动态散射理论的全模式模拟应用于相关参数的定量测定。

我们的产品如何比较

  • Empyrean 锐影系列

    多用途 X 射线衍射仪

    Empyrean 锐影系列

    技术类型

    • X 射线衍射 (XRD)

    测量类型

    • 外延附生分析
    • 物相鉴定
    • 物相定量
    • 界面粗糙度
    • 薄膜测量
    • 残余应力
    • 织构分析
    • 倒易空间分析
    • 颗粒形状
    • 颗粒粒度
    • 晶体结构测定
    • 污染物检测与分析
    • 3D 结构/成像
  • X'Pert³ MRD

    新一代高分辨X射线衍射仪

    X'Pert³ MRD

    技术类型

    • X 射线衍射 (XRD)

    测量类型

    • 外延附生分析
    • 物相鉴定
    • 物相定量
    • 界面粗糙度
    • 薄膜测量
    • 残余应力
    • 织构分析
    • 倒易空间分析
    • 颗粒形状
    • 颗粒粒度
    • 晶体结构测定
    • 污染物检测与分析
    • 3D 结构/成像
  • X'Pert³ MRD XL

    多功能材料研究衍射系统

    X'Pert³ MRD XL

    技术类型

    • X 射线衍射 (XRD)

    测量类型

    • 外延附生分析
    • 物相鉴定
    • 物相定量
    • 界面粗糙度
    • 薄膜测量
    • 残余应力
    • 织构分析
    • 倒易空间分析
    • 颗粒形状
    • 颗粒粒度
    • 晶体结构测定
    • 污染物检测与分析
    • 3D 结构/成像