外延附生分析

从衍射谱图中可以获得许多重要信息，包括： 

• 外延层合金成分
• 外延层的均匀性
• 外延层的厚度
• 应变和应变松弛、 
• 与位错密度相关的晶体完整性

在某些情况下，甚至可以研究界面的相互扩散和混合的形成。

为了快速检查，可以使用基板和层的峰值位置进行分析。 

然而，通常将基于动态散射理论的全模式模拟应用于相关参数的定量测定。