SuperQ Thin Film

用于薄膜的 XRF 分析

SuperQ Thin Film 是配合帕纳科基于 XRF 测试机理的晶片测试使用的软件平台。SuperQ Thin Film 软件平台可以实现准确的流程控制和比以往更加轻松的晶片分析。该软件可对整个晶片的分层和堆栈信息进行快速、自动的验证,还能计算各种分层类型和堆栈的厚度、成分、化学计量、掺杂度和均匀性。
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特点

可用性增强

即使操作员经验有所欠缺,但只需对其稍加指导,他们便可以轻松执行日常 XRF 分析这样的例行任务。


轻松查看结果

可以在执行测量的同时以各种格式在线查看结果,而独特的色标则允许一目了然地做出合格/不合格决定。此外,还可以将结果自动传输到网络驱动器或打印机,以生成报告、出版物或演示文档。


显著增强可用性

SuperQ Thin Film 基于 Malvern Panalytical 的 SuperQ,这款 XRF 分析软件平台可用于 Malvern Panalytical XRF(基于波长色散的光谱仪),提供了设置及操作光谱仪所需的全部功能。该软件基于 Malvern Panalytical 半个世纪以来积累的 XRF 分析专业知识,其内置的丰富智能大大简化了分析程序的安装过程。即使操作员经验有所欠缺,但在稍加指导之后,他们便可以轻松执行日常 XRF 分析这样的例行任务。提供了许多功能,增强了软件的可用性。

规格

可以在执行测量的同时以各种格式在线查看结果,而独特的色标则允许一目了然地做出合格/不合格决定。此外,还可以将结果自动传输到网络驱动器或打印机,以生成报告、出版物或演示文档。