马尔文帕纳科提供多种用于元素和薄膜分析的 X 射线荧光光谱仪和相关产品。 这些 XRF 分析仪适用于广泛的分析和处理量要求及各种操作环境。 光谱仪的范围从能量色散台式 XRF 系统到波长色散高性能 XRF 系统和半导体测量产品。
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Find out more用于元素成分分析的专业 XRF 光谱仪
马尔文帕纳科提供多种用于元素和薄膜分析的 X 射线荧光光谱仪和相关产品。 这些 XRF 分析仪适用于广泛的分析和处理量要求及各种操作环境。 光谱仪的范围从能量色散台式 XRF 系统到波长色散高性能 XRF 系统和半导体测量产品。
XRF 光谱仪可以配置专用软件选项，专门用于特定类型的 X 射线荧光分析。 通过结合应用模块（应用配置、校准和标样）或作为带有制样产品的套件，可以创建完整的分析解决方案。 所有的马尔文帕纳科产品均由我们的售后服务和客户服务机构提供支持。
在我们的知识中心，您可以找到有关我们的光谱仪可以提供的许多有趣的 XRF 应用的更多信息
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| 测量类型 | ||||||
| 薄膜测量 | ||||||
| 元素分析 | ||||||
| 污染物检测与分析 | ||||||
| 元素量化 | ||||||
| 化学鉴定 | ||||||
| 技术类型 | ||||||
| X 射线荧光 (XRF) | ||||||
| 波长色散式 X 射线荧光 (WDXRF) | ||||||
| 能量色散式 X 射线荧光 (EDXRF) | ||||||
| 元素范围 | Be-Am | Na-Am | F-Am | Na-Am | B-Am | B-Am |
| LLD | 0.1 ppm - 100% | 1 ppm - 100% | 1 ppm - 100% | 1 ppm - 100% | 0.1 ppm - 100% | 0.1 ppm - 100% |
| 分辨率 (Mg-Ka) | 35eV | 135eV | 135eV | 135eV | 35eV | 35eV |
| 通量 | 160per 8h day - 240per 8h day | Up to - 80per 8h day | Up to - 160per 8h day | on-line | up to 25 wafers per hour | 240per 8h day - 480per 8h day |