什么是 X 射线荧光?

X 射线荧光 (XRF) 是可用于测定多种类型样品(包括固体、液体、浆料和疏松粉末)化学成分的分析技术。 X 射线荧光还用于确定分层和涂层的厚度和成分。 它可以分析从铍 (Be) 到铀 (U) 的各种元素,涵盖从 100 wt% 到百万分之一以下的浓度范围。

XRF 分析有哪些好处?

XRF 分析是一种可靠的技术,结合了高精度和准确性以及简便、快速的样品制备等优点。 它可以在要求实现高处理量的工业环境下自动完成使用准备,并且提供定性和定量的样品相关信息。 这种定性和定量信息的轻松组合还使快速筛选(半定量)分析成为可能。

XRF 的工作原理

XRF 是一种原子发射方法,类似于光发射光谱 (OES)、ICP 和中子活化分析(伽马光谱)。 此类方法可以测量由样品中的带电原子发出的“光线”(此情况下为 X 射线)的波长和强度。 在 XRF 中,来自 X 射线光管主 X 射线光束的辐照会使荧光 X 射线的辐射呈现出样品中所存在元素的分散能量特征。 

元素成分的测定

用于样品 X 射线荧光光谱分离(分散)、识别和强度测量的技术催生了两种主要类型的光谱仪:波长色散式 (WDXRF)能量色散式 (EDXRF) 系统。

XRF 分析仪

我们提供广泛的 X 射线荧光解决方案,包括波长和能量色散式解决方案,用于分析各种材料和应用的元素成分。 在下表中了解我们的解决方案组合:

Zetium 系列X射线荧光光谱仪

Zetium 系列X射线荧光光谱仪

卓越的元素分析

更多细节
测量 薄膜测量, Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification
元素范围 Be-U
分辨率 (Mg-Ka) 35eV
LLD 0.1 ppm - 100%
样品处理量 160per 8h day - 240per 8h day
技术类型 Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF), Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)

Epsilon 系列

Epsilon 系列

快速、准确的原位和在线元素分析

更多细节
测量 薄膜测量, Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification
元素范围 Na-Am
分辨率 (Mg-Ka) 145eV
LLD 1 ppm - 100%
样品处理量 Up to - 160per 8h day
技术类型 X-ray Fluorescence (XRF), Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)

Axios FAST 多道同时式波长色散型X射线荧光光谱仪

Axios FAST 多道同时式波长色散型X射线荧光光谱仪

超高的样品处理量

更多细节
测量 薄膜测量, Elemental analysis, Elemental quantification
元素范围 Be-U
分辨率 (Mg-Ka) 35eV
LLD 0.1 ppm - 100%
样品处理量 240per 8h day - 480per 8h day
技术类型 Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)

2830 ZT 圆晶分析仪

2830 ZT 圆晶分析仪

先进的半导体薄膜计量解决方案

更多细节
测量 化学鉴定, 薄膜测量, Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification
元素范围 Be-U
分辨率 (Mg-Ka) 35eV
样品处理量 up to 25 wafers per hour
LLD 0.1 ppm - 100%
技术类型 Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)

Zetium 系列X射线荧光光谱仪

Zetium 系列X射线荧光光谱仪

卓越的元素分析

Epsilon 系列

Epsilon 系列

快速、准确的原位和在线元素分析

Axios FAST 多道同时式波长色散型X射线荧光光谱仪

Axios FAST 多道同时式波长色散型X射线荧光光谱仪

超高的样品处理量

2830 ZT 圆晶分析仪

2830 ZT 圆晶分析仪

先进的半导体薄膜计量解决方案

更多细节 更多细节 更多细节 更多细节
测量 薄膜测量, Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification 薄膜测量, Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification 薄膜测量, Elemental analysis, Elemental quantification 化学鉴定, 薄膜测量, Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification
元素范围 Be-U Na-Am Be-U Be-U
分辨率 (Mg-Ka) 35eV 145eV 35eV 35eV
LLD 0.1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100%
样品处理量 160per 8h day - 240per 8h day Up to - 160per 8h day 240per 8h day - 480per 8h day up to 25 wafers per hour
技术类型 Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF), Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF) X-ray Fluorescence (XRF), Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF) Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF) Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)

Zetium 系列X射线荧光光谱仪

Epsilon 系列

Axios FAST 多道同时式波长色散型X射线荧光光谱仪

2830 ZT 圆晶分析仪

Zetium 系列X射线荧光光谱仪 Epsilon 系列 Axios FAST 多道同时式波长色散型X射线荧光光谱仪 2830 ZT 圆晶分析仪

卓越的元素分析

快速、准确的原位和在线元素分析

超高的样品处理量

先进的半导体薄膜计量解决方案

更多细节 更多细节 更多细节 更多细节
测量类型
薄膜测量
Elemental analysis
Contaminant detection and analysis
Elemental quantification
化学鉴定
技术类型
Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)
Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)
元素范围 Be-U Na-Am Be-U Be-U
LLD 0.1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100%
分辨率 (Mg-Ka) 35eV 145eV 35eV 35eV
样品处理量 160per 8h day - 240per 8h day Up to - 160per 8h day 240per 8h day - 480per 8h day up to 25 wafers per hour